電 話：+86-755-83867315| 全球領(lǐng)先！我國首條8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線運營 |
轉(zhuǎn)載自：2017-09-10 中國半導體論壇 國內(nèi)首條、全球領(lǐng)先、兼容CMOS的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線在上海投入運營，旨在推動我國“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用快速發(fā)展、引領(lǐng)全球。 今天上午，在2017中國（上海）國際傳感器技術(shù)與應(yīng)用展覽會暨2017全球傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)峰會上，中國科協(xié)副主席、中國科學院院士王曦，工信部原副部長楊學山，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金總經(jīng)理、中國高端芯片聯(lián)盟理事長丁文武，工信部電子司副司長吳勝武，上海市科委主任壽子琪，上海市嘉定區(qū)委書記馬春雷共同啟動上海微技術(shù)工業(yè)研究院“超越摩爾”研發(fā)中試線，標志著國內(nèi)首條、全球領(lǐng)先、兼容CMOS（互補金屬氧化物半導體）的8英寸研發(fā)中試線正式投入運營，旨在推動我國“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用快速發(fā)展、引領(lǐng)全球。 補上國內(nèi)“超越摩爾”生態(tài)鏈缺口 如今，以移動互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數(shù)據(jù)、人工智能等為代表的新一代信息技術(shù)正加速創(chuàng)新、融合和普及應(yīng)用，一個萬物互聯(lián)智能化時代日益臨近。其中，“超越摩爾”技術(shù)以傳感器為核心，結(jié)合射頻、功率、微能源等技術(shù)，是未來實現(xiàn)萬物互聯(lián)的核心技術(shù)之一。王曦解釋說，所謂“超越摩爾”，是指非數(shù)字、多元化半導體技術(shù)與產(chǎn)品（如傳感器）可以在成熟的工藝生產(chǎn)線上研發(fā)，無需遵循摩爾定律，在工藝尺寸上越做越小。
傳感器的市場應(yīng)用已呈現(xiàn)爆發(fā)式增長態(tài)勢，產(chǎn)品種類多達上千。美國舉行的MEMS （微機電系統(tǒng)）Bryzek大會預測：MEMS芯片市場將在2023年達到1兆片規(guī)模。另據(jù)預測，我國智能傳感器市場將在2019年達到960億元規(guī)模。 然而，縱觀我國“超越摩爾”領(lǐng)域現(xiàn)狀，雖經(jīng)歷多年理論研究與技術(shù)驗證，但在產(chǎn)業(yè)化階段，往往存在實驗室研發(fā)與生產(chǎn)平臺脫節(jié)的情況。究其原因，是MEMS產(chǎn)品的研發(fā)所涉及的技術(shù)鏈條較長，且其“非標”特性使得它的研發(fā)、創(chuàng)新需要與產(chǎn)線有一段比較長的磨合期，可以說對產(chǎn)線“嚴重依賴”。因此，研發(fā)中試線就顯得至關(guān)重要。 為此，上海微技術(shù)工研院立足擁有國內(nèi)一流集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)的上海，志在實施“超越摩爾”計劃，爭取在這一領(lǐng)域與國際領(lǐng)先水平并行。如今，落地上海嘉定工業(yè)區(qū)、近5000平方米的高等級微納加工超凈廠房內(nèi)，8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線正式運營，不僅實現(xiàn)了從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接，而且使國內(nèi)“超越摩爾”生態(tài)鏈得以完善。
上海微工院8英寸研發(fā)中試線工藝能力布局圖
王曦介紹，在“超越摩爾”領(lǐng)域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產(chǎn)線，貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)的8英寸線是公認的領(lǐng)先技術(shù)。這條研發(fā)中試線將專注于傳感器產(chǎn)品技術(shù)開發(fā)，可以全面開展表面和3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設(shè)備。8英寸研發(fā)中試線能承擔產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓、設(shè)備驗證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實現(xiàn)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接。
以8英寸線為支點打造功能型平臺 上海微技術(shù)工研院總裁楊瀟表示，以全球領(lǐng)先的“超越摩爾”8英寸研發(fā)中試線為支點，上海微技術(shù)工研院試圖打造集研發(fā)、工程、市場、孵化于一體的功能型平臺，為企業(yè)和研發(fā)機構(gòu)提供全方位的服務(wù)和解決方案。
上海微工院致力于打造“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)。
在研發(fā)創(chuàng)新環(huán)節(jié)，上海微技術(shù)工研院建立了全國首個成熟、完善的MEMS-IC軟件設(shè)計平臺、開發(fā)MEMS-ICIP核庫；“超越摩爾”研發(fā)8英寸研發(fā)中試線將專注于新工藝、新材料及新器件的開發(fā)與整合；同時提供集成電路設(shè)計、系統(tǒng)集成以及完整物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)解決設(shè)計方案。
在中試制造環(huán)節(jié)，工研院建立了全球領(lǐng)先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線、世界先進的工程測試分析平臺、MEMS/ASIC的晶圓測試、封裝測試等測試能力；提供完整的專利及器件分析、研究服務(wù)，并提供知識產(chǎn)權(quán)許可、保護及談判方面的專家級指導。
在產(chǎn)業(yè)整合領(lǐng)域，工研院將推動汽車電子、智慧醫(yī)療、智能安防、智能家居、智能消費類產(chǎn)品等細分物聯(lián)網(wǎng)市場與傳感產(chǎn)業(yè)，進行垂直產(chǎn)業(yè)鏈與橫向服務(wù)市場的整合，推進相關(guān)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展；發(fā)起并參與中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟等產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，推動 “超越摩爾”及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵標準制訂，并通過SENSOR CHINA等展會與系列活動，提供全球范圍的市場支持。
工研院還在構(gòu)建全球創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)，已在美國硅谷、法國格勒諾布爾、臺灣新竹等地建立了分支機構(gòu)。投資與孵化方面，由上海微技術(shù)工研院、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金以及其他戰(zhàn)略投資人共同發(fā)起成立的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)基金，規(guī)模達50億元，為創(chuàng)新企業(yè)提供關(guān)鍵的早期支持，并配套全球化創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)，為創(chuàng)業(yè)團隊提供軟硬件結(jié)合的孵化服務(wù)。 |
