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三星、LG將發(fā)展打印OLED;OLED噴墨打印工藝介紹

三星、LG將發(fā)展打印OLED

三星與LG Display此前商討在有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)噴墨打印工序中使用“Blue Common Layer(BCL)”技術(shù),但目前已經(jīng)決定不使用該技術(shù),而是研發(fā)出可以打印出紅色、綠色、藍(lán)色發(fā)光材料的噴墨打印技術(shù),大幅降低大面積OLED生產(chǎn)費(fèi)用。

如果不使用BCL技術(shù),預(yù)計(jì)在TV用大面積OLED產(chǎn)業(yè)中,蒸鍍設(shè)備(evaporation)市場將大幅萎縮。


(圖片來源:韓國《KIPOST》)

BCL性價(jià)比下降

BCL技術(shù)是一種將噴墨打印技術(shù)與現(xiàn)有OLED蒸鍍技術(shù)相結(jié)合的混合技術(shù)。發(fā)光層中的紅色與綠色材料可通過噴墨打印機(jī)打印,但藍(lán)色材料要使用Inline設(shè)備蒸鍍。

該技術(shù)一直被看作是解決噴墨打印發(fā)光材料中藍(lán)色材料壽命問題的方法。目前正在進(jìn)行噴墨打印發(fā)光材料開發(fā)的美國The Dow Chemical Company、德國Merck、日本住友化學(xué)等三家公司都沒能完全解決藍(lán)色材料壽命問題。

紅色與綠色材料即使通過噴墨打印機(jī)打印,與蒸鍍材料相比,其壽命也不會縮短太多。但藍(lán)色材料通過噴墨打印機(jī)打印后,其壽命不及蒸鍍材料的70%。使用噴墨打印機(jī)打印完紅色與綠色材料后,再將藍(lán)色層蒸鍍上去,可以保證紅色、綠色、藍(lán)色材料的壽命。

BCL技術(shù)可以解決藍(lán)色材料壽命問題,但兩家公司還是決定不引進(jìn)該技術(shù),其原因主要是使用該技術(shù)后,噴墨打印工序節(jié)約成本的效果會大打折扣。

完全使用噴墨打印技術(shù)生產(chǎn)出的OLED(左圖)與使用BCL技術(shù)生產(chǎn)出的OLED(右圖)。藍(lán)色材料以后的部分(ETL、EIL)均需使用蒸鍍設(shè)備,工序效率降低(圖片來源:韓國《KIPOST》)

蒸鍍藍(lán)色材料后,還需利用真空設(shè)備在藍(lán)色材料上蒸鍍電子傳輸層(ETL)與電子注入層(EIL)。噴墨打印的有機(jī)材料實(shí)際貼合率為90%以上,但蒸鍍的實(shí)際附著率僅為10%-20%。剩下80%的有機(jī)材料會附著在Chamber壁上或Mask上。這也是OLED生產(chǎn)成本上升的原因。

投資效率較低的蒸鍍工序增加,這使得引進(jìn)噴墨打印技術(shù)的初衷黯然失色。位于紅色、綠色發(fā)光材料之上的藍(lán)色層還會降低發(fā)光效率。業(yè)界相關(guān)人員表示“如果提高BCL的電子移動速度,使其快速通過藍(lán)色層,應(yīng)該不會出現(xiàn)混色的可能”,“但因?yàn)楦采w著有機(jī)物,所以對效率有影響”。

蒸鍍設(shè)備使用將大幅減少

美國Kateeva的噴墨打印設(shè)備(圖片來源:韓國《KIPOST》)

因此三星與LG Display計(jì)劃研發(fā)出可以打印藍(lán)色層、ETL、EIL的噴墨打印機(jī)。在沒有研發(fā)出完全意義上的噴墨打印技術(shù)之前,不會進(jìn)行量產(chǎn)。

目前Samsung Display從美國Kateeva引進(jìn)噴墨打印機(jī)進(jìn)行研發(fā),LG Display則從日本Tokyo Electron引進(jìn)噴墨打印機(jī)進(jìn)行研發(fā)。

LG Display計(jì)劃在京畿道坡州新建的P10第一條產(chǎn)線上以及中國廣州第8代OLED產(chǎn)線上構(gòu)建蒸鍍工序。

一旦噴墨打印工序可以用于量產(chǎn)后,今后在TV用OLED產(chǎn)線上,將很少使用蒸鍍設(shè)備。此前在商討引進(jìn)BCL技術(shù)時(shí),預(yù)計(jì)今后噴墨打印機(jī)與蒸鍍設(shè)備可能共存,如今看來蒸鍍設(shè)備處于非常不利的狀態(tài)。

業(yè)界相關(guān)人員表示“可以量產(chǎn)后,從噴墨打印工序返回到蒸鍍工序的可能性為零”,“但引進(jìn)噴墨打印技術(shù)較難的中小型OLED還將繼續(xù)使用蒸鍍設(shè)備”。(本文章來源于韓國合作媒體韓國《KIPOST》)

OLED噴墨打印工藝,詳細(xì)數(shù)據(jù)與細(xì)節(jié)介紹

OLED噴墨打印,主要是使用溶劑將OLED有機(jī)材料融化

然后將材料直接噴印在基板表面形成R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))有機(jī)發(fā)光層

今天為大家準(zhǔn)備的內(nèi)容就是

噴墨打印過程中的材料以及其工藝、難點(diǎn)剖析

噴墨打印聚合物材料

由于聚合物分子量較大,主要采用溶液加工成膜,如旋涂或印刷,而噴墨打印技術(shù)被證明是制備發(fā)光聚合物溶液的最佳方法。1990年,RichardFriend等人在劍橋大學(xué)卡文迪許實(shí)驗(yàn)室發(fā)現(xiàn)聚合物的電致發(fā)光特性,并制作了聚合物發(fā)光二極管(PLED),此后,PLED顯示引起了人們極大的關(guān)注,被認(rèn)為是最有希望應(yīng)用于制造下一代平板顯示器。

1998年,Hebner等人首次利用噴墨打印技術(shù)制備摻雜的聚合物發(fā)光薄膜及PLED顯示屏。

同年,Bharathan和Yang等人利用Epson桌面印刷設(shè)備噴墨打印了水溶性導(dǎo)電墨水PEDOT,制備了單色PLED電子標(biāo)簽。

1999年,他們同時(shí)使用旋涂與噴墨打印兩種工藝成功制備了雙色PLED顯示屏,并在美國SID上展示了第1臺使用噴墨打印技術(shù)制作的全彩PLED顯示屏,自此之后,美國Dupont顯示公司等多家研發(fā)機(jī)構(gòu),使用噴墨打印技術(shù)先后研發(fā)出了各自的全彩PLED顯示屏。

2000年,Kodayashi等人[22]利用Epson設(shè)備,在旋涂了電子傳輸材料聚二辛基芴(F8)的基板上,打印紅、綠發(fā)光聚合物材料——對苯乙烯撐(PPV)溶液,他們成功地把發(fā)光材料印刷到薄膜晶體管上,并顯示紅、綠、藍(lán)彩色圖像。

2002年,Duineveld等人報(bào)道了基于噴墨打印制備的真彩色80ppi的有源(AM-PLED)和無源PM-PLED顯示屏。

2004年,SeikoEpson公司使用拼接技術(shù)制成了對角線102cm,厚度僅2.1mm,壽命達(dá)2000h以上的噴墨打印全彩色PLED顯示屏。

2010年,Singh等人制作了基于噴墨打印技術(shù)的OLED顯示屏,發(fā)光材料是含銥原子的大分子磷光染料,空穴傳輸材料為聚(9-乙烯咔唑),電子傳輸材料為PBD。他們制作的噴墨打印顯示屏最大發(fā)光亮度達(dá)6000cdm-2,開關(guān)電壓較低為6.8V(5cd·m-2),量子效率相對較高為1.4%。通過改善染料化學(xué)結(jié)構(gòu)和印刷薄膜的形貌,他們獲得了最大發(fā)光亮度為10000cd·m-2的結(jié)果。

最近幾年,人們?yōu)樘岣唢@示屏的像素分辨率、薄膜均勻性和延長壽命等做出了大量的努力,噴墨打印沉積光電材料的研究越來越活躍,而且證明了顯示屏的空穴傳輸層、發(fā)光層以及陰極材料,都可使用噴墨打印技術(shù)制備,為全印刷顯示屏的實(shí)現(xiàn)打下了基礎(chǔ)。

雖然高效率、可打印的聚合物發(fā)光材料已有較大發(fā)展,噴墨打印設(shè)備以及相關(guān)成膜工藝,基本上都能滿足制備高分辨率顯示屏的要求,然而,發(fā)光聚合物的性能仍然需要研究者繼續(xù)努力,開發(fā)出發(fā)光效率更高、壽命更長且成本低廉的聚合物材料,才能滿足日益增長的市場需求。

噴墨打印小分子材料

目前,聚合物發(fā)光器件(PLED)的效率(6~8cd/A)和壽命一般較低,而小分子發(fā)光器件(SM-OLED)具有明顯的性能優(yōu)勢,如高效率(84cd/A)和長壽命等。PLED在應(yīng)用上仍然存在局限性,而通過熱蒸鍍工藝加工的多層磷光小分子發(fā)光顯示器件(SM-OLED)可達(dá)到更高的效率。

Xia等人把這些傳統(tǒng)的熱蒸鍍小分子材料,通過噴墨打印的方式制作薄膜,并制備出性能較好的磷光小分子發(fā)光器件,噴墨打印小分子的研究也因此引起了人們更多的關(guān)注。

獲得高質(zhì)量的功能薄膜是制作高效率、長壽命器件的必要條件。但一般的小分子材料成膜性較差,液膜在基板上干燥過程中,容易發(fā)生去潤濕而形成不連續(xù)的薄膜,對此,可以通過兩種途徑來提高小分子自身的成膜性。一是增加分子體積和烷基鏈長,設(shè)計(jì)合成溶解性和成膜性好的分子;二是向小分子材料中添加聚合物材料來提高成膜性。

此外,改變基板表面的物理化學(xué)性質(zhì),同樣可以提高材料的成膜性。Sirringhaus等人在疏水材料圖案化的親水基板表面噴墨打印水溶性材料,獲得了高分辨的聚合物電極。

Hendriks等人在熱壓雕花基板表面打印制作納米銀墨水導(dǎo)線,接觸角較小時(shí),墨水通過毛細(xì)作用會被吸入通道。因?yàn)樾》肿尤芤旱牧黧w特性主要取決于溶劑的性質(zhì),雖然人們大量研究了溶劑對小分子成膜性的影響,但是溶劑對小分子成膜性的影響是十分復(fù)雜的。

噴墨打印陰極

與蒸鍍小分子原理相同,OLED器件的陰極一般也是通過真空蒸鍍工藝制作,而用到的蒸鍍設(shè)備和掩模板比較昂貴。

用噴墨打印技術(shù)制備陰極,可大幅度降低成本,最大的難題在于大面積均勻成膜。

在全印刷工藝制備OLED顯示屏的研究中,關(guān)鍵是可印刷陰極墨水的開發(fā)和大面積成膜技術(shù)的實(shí)現(xiàn)。其難度主要在于:

1、必須保證陰極材料與有機(jī)功能層的親和性,確保印刷的陰極能穩(wěn)定成膜;

2、必須保證印刷圖案的精細(xì)度,確保顯示圖像的高分辨率;

3、必須避免陰極膠漿對底層的破壞;

4、必須保證載流子的有效注入,以確保的高亮度、高效率的顯示性能。

噴墨打印OLED顯示屏工藝

噴墨打印功能薄膜時(shí),液滴間距(μm)和液滴體積(pl)需達(dá)到較高的精度才能滿足薄膜的均勻性和厚度的要求。

液滴定位或體積的微小變化,都有可能引起顯示屏像素坑發(fā)光亮度不均勻甚至短路完全不發(fā)光,從而導(dǎo)致OLED顯示屏出現(xiàn)大量缺陷。

OLED功能層不僅要求膜厚均勻,而且還要保持其自身的光電特性,所以薄膜形成過程中溶劑必須干燥去除;

同樣,墨水中的其他添加劑也必須去除至含量最低,以免影響有機(jī)半導(dǎo)體薄膜的性能。

因此,噴墨打印制備OLED顯示屏技術(shù)的發(fā)展,不僅帶動了噴墨打印機(jī)/打印頭的發(fā)展,也引起人們對墨水配方、墨水/基板界面接觸特性以及干燥過程等課題的高度重視和深入研究。

像素坑尺寸與噴墨打印液滴的計(jì)算

OLED顯示屏由像素陣列組成,每個(gè)像素又由紅、綠、藍(lán)3色的子像素坑組成,一般其幾何形狀為下圖所示的圓角矩形。

而像素坑的尺寸和個(gè)數(shù)是由顯示屏的應(yīng)用特點(diǎn)決定的:

對于高清電視機(jī)(HDTV),在像素陣列為1080×1920、尺寸為94~165cm的規(guī)格下,子像素坑的尺寸分別為140和250μm;而對于移動設(shè)備如智能手機(jī),其像素為廣視頻圖像陣列(WVGA,480×800個(gè)像素),7.37~9.65cm的規(guī)格下,子像素坑尺寸分別為26μm和35μm。

由于彩色顯示屏相鄰的子像素坑發(fā)光材料的顏色不同,印刷時(shí)必須防止溶液溢出到相鄰像素坑中,所以在像素坑之間需要創(chuàng)建出低表面能的隔離區(qū),一般使用光刻膠樹脂做隔離材料。

向像素坑中打印墨水時(shí),首先要考慮墨水體積是否滿足薄膜厚度的要求。

由于像素坑的面積和深度是一定的,墨水體積既要鋪滿像素坑,又不能溢出像素坑,所以打印墨水的體積是有限的。

假設(shè)把濃度為1%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))的墨水印刷到像素坑中,要求薄膜厚度是70nm。

小像素坑的最大容積小于滿足厚度需求的墨水體積(設(shè)液體與基板接觸角為70°),即墨水填滿像素坑后最大膜厚仍然小于70nm,說明墨水中固體含量過低,需要增加墨水的濃度并降低印刷體積。

大像素坑中達(dá)到70nm膜厚所需要的墨水體積小于最低潤濕體積(設(shè)墨水與基板的接觸角是15°),即墨水不足以鋪滿像素坑,說明墨水中固體含量過高,需要降低墨水的濃度并增加印刷墨水的體積。

在墨水濃度和液滴體積都確定的情況下,可根據(jù)膜厚要求計(jì)算每一像素坑需要的墨水體積和墨滴數(shù)量。由于液滴體積是由打印頭直徑?jīng)Q定的,則可以根據(jù)像素坑的尺寸需要選擇相應(yīng)的直徑的打印頭,像素坑尺寸越小,選擇的打印頭直徑越小,技術(shù)要求也越高。

墨水成膜過程控制

噴墨打印OLED顯示屏的溶液主要是由光電材料和溶劑等組成,需要從流體特性、鋪展程度和干燥成膜幾個(gè)過程考慮墨水的配制:

1、確保墨水的穩(wěn)定性,要求溶質(zhì)的溶解度高或分散均勻,保證液滴穩(wěn)定以及材料在基板上成膜均勻;

2、溶液的流變性(粘度,表面張力及剪切速率)需滿足噴墨打印設(shè)備的要求,并能夠形成穩(wěn)定的液滴,包括液滴無衛(wèi)星點(diǎn)、重復(fù)性好、定位精確等;

3、溶劑不能揮發(fā)得太快,防止干燥后的溶質(zhì)堵塞打印頭導(dǎo)致打印失效。

墨水的可打印性主要是由粘度、表面張力和剪切速率變化量決定的,而分子結(jié)構(gòu)和分子量、固體含量以及選擇的溶劑是影響這些物理參數(shù)的主要因素。

噴墨打印設(shè)備對墨水粘度的要求一般在1~20cP之間。

對于聚合物墨水來說,溶質(zhì)含量越高墨水粘度越大,固體含量一般在0.2%~2.5%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))之間;

對于小分子來說,溶質(zhì)含量對溶液粘度的影響很小,一般通過選擇高粘度溶劑和加入添加劑等方式提高溶液的粘度;溶劑的沸點(diǎn)和表面張力決定墨水的干燥速率及其對基板的潤濕性,所以需要選擇物理性質(zhì)適當(dāng)?shù)娜軇?,達(dá)到控制溶質(zhì)在像素坑中的成膜形貌的目的。

墨水在像素坑中鋪展的理想情況是:

液體與像素坑基板接觸角小,同時(shí)與像素邊沿接觸角大,以保證液體在像素坑之內(nèi)不會溢出。

這種潤濕特性是通過對像素基板(如ITO)和其邊沿材料(如PI)表面進(jìn)行處理獲得的,包括修飾基板材料的結(jié)構(gòu)、制作基板的工藝及表面處理(如等離子、臭氧或溶液處理等)。

液滴在鋪滿像素坑之后,干燥成膜過程可以用Deegan等人提出的“咖啡環(huán)”效應(yīng)來解釋:

液滴在基板上鋪展時(shí),表面缺陷等原因會引起溶質(zhì)在接觸線處發(fā)生“釘扎”作用,液滴會繼續(xù)保持此鋪展形狀,由于接觸線處溶劑揮發(fā)速度快,溶液會從液滴中部向液滴邊緣轉(zhuǎn)移補(bǔ)償揮發(fā)掉的溶劑,最終溶質(zhì)在基板上沉積形成邊緣厚中間薄的不均勻薄膜,即“咖啡環(huán)”。

通過加入高沸點(diǎn)溶劑的方法,可降低接觸線處溶劑的蒸發(fā)速率,還可以形成向內(nèi)的Marangoni流,使得溶質(zhì)均勻沉積。上面的圖b是白光干涉的三維像素坑照片,從均勻的顏色可看出墨水形成了厚度均勻的薄膜。

可以利用白光干涉儀測量沿著像素坑某一方向(長軸或短軸方向)的薄膜厚度分布圖。下面兩張圖是PEDOT:PSS墨水在像素坑中干燥的薄膜沿某一方向的厚度分布圖,圖a是噴墨打印單一溶劑墨水的結(jié)果,薄膜中間均勻、邊沿突起,形成了咖啡環(huán)結(jié)構(gòu);

為了抑制這種溶質(zhì)的不均勻沉積,噴墨打印了重新配制的PEDOT∶PSS墨水(加入高沸點(diǎn)溶劑),邊沿墨水干燥時(shí)間變長,最終形成了下圖b所示的膜厚均勻的分布曲線。


液滴定位偏差與控制

噴墨打印機(jī)/打印頭的重要技術(shù)指標(biāo)包括液滴的定位精度,噴墨液滴體積,印刷可靠性和產(chǎn)量等。

液滴下落的目標(biāo)位置由顯示屏的幾何圖案確定,液滴體積主要由打印頭直徑?jīng)Q定。

由于顯示屏的像素尺寸一般在微米量級,分辨率越高要求液滴的體積越小、定位越精確。比如在像素分辨率為100~150ppi(子像素大小約為85~55μm),35.56cm的彩色顯示基板上沉積1~2千萬個(gè)直徑約25μm液滴,液滴定位稍有偏差,就可能引起整個(gè)像素基板的印刷錯誤,所以要求打印頭尺寸為10pl左右,液滴下落精度在±10μm內(nèi),才能獲得印刷定位精確、高分辨率的器件。

液滴定位偏差主要是由打印平臺的機(jī)械偏移和液滴在打印頭出口的偏移角度引起的。用于制造噴墨打印顯示屏的設(shè)備一般都具備專業(yè)的高精度印刷平臺(如氣浮軸承平臺),其可以達(dá)到機(jī)械位移精度的要求。

而液滴在打印頭出口處的偏移角度受由打印頭的設(shè)計(jì)和墨水的配方影響,因?yàn)橛糜谏a(chǎn)顯示屏的打印頭都是經(jīng)過專門設(shè)計(jì)制造的,對液滴偏移影響越來越小,液滴偏移角一般不超過10mrad。

通過打印頭的設(shè)計(jì)和墨水的優(yōu)化,液滴偏移角度可達(dá)±2mrad,對應(yīng)的印刷分辨率則可達(dá)到200ppi。

此外,通過優(yōu)化墨水的化學(xué)組成、調(diào)控基材表面的化學(xué)組成或物理結(jié)構(gòu)等方法可以減少噴射墨滴的尺寸或者控制墨滴在基材表面的鋪展?jié)櫇裥袨椋部梢杂行岣邍娔蛴〉姆直媛省?

在制作OLED顯示屏中,這些提高印刷分辨率的方法都是非常重要的。

基板結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

下圖是傳統(tǒng)的無源有機(jī)發(fā)光顯示屏(PM-OLED)基板(圖A,B)和改進(jìn)的基板(圖C)的結(jié)構(gòu)圖。其基板是由透明襯底①、電極②、絕緣層PI③、隔離柱RIB④依次層疊構(gòu)成的(圖A)。


該基板結(jié)構(gòu)雖然解決了使用蒸鍍掩模板的高成本問題,但該基板用于全溶液加工技術(shù)制備顯示屏面臨以下3個(gè)問題:

1、隔離柱RIB④影響功能薄膜的質(zhì)量;

2、功能薄膜的不均勻性容易引起陰極的斷裂或氣孔的出現(xiàn),導(dǎo)致顯示屏出現(xiàn)斷路或短路;

3、電極②被刻蝕成條狀,增大了透明電極的電阻,易引起器件電流注入困難和顯示屏電流密度減小,導(dǎo)致顯示屏驅(qū)動電壓增大,發(fā)光亮度和發(fā)光效率降低。

Zheng等人設(shè)計(jì)了新型的適合全印刷的點(diǎn)陣顯示屏基板:

在傳統(tǒng)基板結(jié)構(gòu)(圖3A,B)的基礎(chǔ)上,取消隔離柱RIB④,在經(jīng)過簡化的無隔離柱RIB④的基板上,制備減少甚至無缺陷的全印刷有機(jī)電致發(fā)光點(diǎn)陣顯示屏;從加大電極條②的寬度(圖C)和發(fā)光區(qū)內(nèi)引入高電導(dǎo)率導(dǎo)線(圖C),從這兩個(gè)方面優(yōu)化基板結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)高亮度、高效率、長壽命、低成本的有機(jī)電致發(fā)光點(diǎn)陣顯示屏。

來源:OLEDindustry

全球OLED設(shè)備制造商發(fā)展概況

一般而言,OLED制造設(shè)備主要包括:有機(jī)蒸鍍和封裝等無源有機(jī)發(fā)光顯示(PMOLED)用關(guān)鍵設(shè)備,濺鍍臺、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)、真空熱蒸發(fā)系統(tǒng)(VTE)等AMOLED用薄膜晶體管(TFT)薄膜沉積設(shè)備,涂膠機(jī)、曝光機(jī)、干濕法刻蝕機(jī)等AMOLED用TFT圖形制作設(shè)備,退火爐、退火氣體管道、激光退火設(shè)備等AMOLED用TFT退火設(shè)備,TFT電學(xué)測試設(shè)備、OLED光學(xué)測試設(shè)備等AMOLED用檢測設(shè)備,激光修補(bǔ)機(jī)等AMOLED用缺陷檢測修補(bǔ)設(shè)備等。如下表所示,全球OLED設(shè)備制造商主要包括日本Tokki、Ulvac、Evatech公司、Anelva Technix、島津(Shimadzu)公司、精工愛普生(Seiko Epson)、凸版印刷(Toppan Printing)、大日本印刷(DNP),韓國Sunic system、Advanced Neotech System(ANS)、Doosan Engineering&Construction(斗山工程建筑公司)、Digital Optics &Vision(DOV)、Viatron科技(ViatronTechnologies)、STI公司、周星工程(Jusung Engineering)、McScience公司,美國科特?萊思科(Kurt J.Lesker)、Rolltronics公司、整體視覺(Integral Vision)公司、MicroFab公司,德國愛思強(qiáng)股份有限公司(Aixtron AG)、M布勞恩(Mbraun)公司,荷蘭OTBv公司等。

 全球OLED設(shè)備制造商一覽表

國別

企業(yè)

重點(diǎn)產(chǎn)品

日本

Tokki公司

大規(guī)模及中小規(guī)模OLED顯示器制造設(shè)備系統(tǒng)(包括真空蒸鍍設(shè)備[②]、全自動封裝系統(tǒng)等),等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備等。

愛發(fā)科(Ulvac)公司

OLED真空蒸鍍設(shè)備(真空泵,低溫泵和低溫冷卻器,儀表及閥門,真空鍍膜設(shè)備等),等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PCVD),濺鍍臺等。

Anelva Technix

物理氣相沉積(PVD)設(shè)備等。

凸版印刷(Toppan Printing)

OLED用彩色濾光片、蝕刻設(shè)備等。

大日本印刷(DNP)

OLED用彩色濾光片等。

Evatech公司

清洗機(jī),顯影機(jī),刻蝕機(jī),OLED用蒸鍍設(shè)備,OLED玻璃基板等。

島津(Shimadzu)公司

質(zhì)譜儀[③](如MALDI-TOF MS系列),平板式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備等。

精工愛普生(Seiko Epson)

噴墨打印機(jī)[④]等。

韓國

Advanced Neotech System(ANS)

薄膜封裝設(shè)備等。

Sunic System

OLED蒸鍍設(shè)備等。

Doosan Engineering&Construction

(斗山工程建筑公司)

OLED用氣相沉積設(shè)備和密封設(shè)備等。

Digital Optics &Vision(DOV)

OLED真空蒸發(fā)器,OLED封裝設(shè)備,有機(jī)材料凈化器等。

Viatron科技(ViatronTechnologies)

增強(qiáng)型快速熱處理設(shè)備(FE-RTP),低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備(APCVD),爐管系統(tǒng)等。

STI公司

OLED玻璃表面清潔設(shè)備,OLED暗盒清潔設(shè)備,蝕刻設(shè)備等。

周星工程(Jusung Engineering)

OLED照明用蒸鍍設(shè)備,OLED顯示器用封裝設(shè)備等。

McScience公司

OLED用測試設(shè)備(如M6000,M6100等),OLED用檢查設(shè)備(如M7000),OLED面板老化測試設(shè)備(如M2000,M2500)等。

亞太系統(tǒng)公司

(Asia Pacific Systems Incorporated)

AMOLED用準(zhǔn)分子激光退火設(shè)備(ELA)等。

UNITEX公司

OLED蒸鍍設(shè)備、封裝設(shè)備等。

美國

Litrex(現(xiàn)為日本Ulvac控股公司)

高精密度工業(yè)噴墨打印機(jī) [⑤]等。

科特·萊思科(Kurt J.Lesker)

薄膜沉積設(shè)備(包括物理氣相沉積設(shè)備PVD,化學(xué)氣相沉積設(shè)備CVD),蒸鍍材料(如高純度金屬或合金絲線,鋁蒸鍍材料),熱蒸鍍及電子束蒸鍍源,真空法蘭等。

Rolltronics公司

柔性薄膜微開關(guān)背板陣列FASwitch [⑥]等。

整體視覺(Integral Vision)公司

平板顯示器用檢查設(shè)備(如IVSee,SharpEye)等。

MicroFab公司

噴墨打?。↖nk-jet)整機(jī)設(shè)備(如JetLab系列打印機(jī))及關(guān)鍵組件(如噴頭,噴頭電控制器)等,是全球噴墨打印技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者。

德國

愛思強(qiáng)股份有限公司(Aixtron AG) [⑦]

有機(jī)氣相沉積(OVPD)設(shè)備等。

M布勞恩(Mbraun)公司

OLED用薄膜沉積設(shè)備,真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備及真空艙等。

荷蘭

OTBv公司  [⑧]

制造OLED顯示器所需的內(nèi)嵌式生產(chǎn)設(shè)備(如PCAP20,PCAP48等)及薄膜封裝設(shè)備等。

中國臺灣

倍強(qiáng)科技(Branchy Technology)

OLED蒸鍍設(shè)備(如電子槍蒸鍍設(shè)備)等。

資料來源:工業(yè)和信息化部電子科學(xué)技術(shù)情報(bào)研究所資料搜集整理

參考文獻(xiàn):

[1] Tokki、Ulvac、Evatech公司、Anelva Technix、島津(Shimadzu)公司、精工愛普生(Seiko Epson)、凸版印刷(Toppan Printing)、大日本印刷(DNP)等企業(yè)網(wǎng)站。

[①]嚴(yán)格意義上的LED電視是指完全采用LED(發(fā)光二極管)做為顯像器件的電視機(jī),一般用于低精度顯示或戶外大屏幕。目前中國大陸地區(qū)家電行業(yè)中通常所指的LED電視嚴(yán)格的名稱是“LED背光源液晶電視”,是指以LED做為背光源的液晶電視,仍是LCD的一種。它用LED光源替代了傳統(tǒng)的熒光燈管,畫面更優(yōu)質(zhì),理論壽命更長,制作工藝更環(huán)保,并且能使液晶顯示面板更薄。

[②] OLED蒸鍍設(shè)備是OLED制造過程中的核心設(shè)施。它是把蒸發(fā)源的有機(jī)物加熱蒸鍍到基板上的設(shè)備。

[③] 日本島津公司質(zhì)譜儀是用來對OLED發(fā)光材料(如小分子材料)進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析的儀器。

[④] 2010年,日本愛普生公司發(fā)明了一種叫做噴墨均一成膜的新技術(shù),這種噴墨技術(shù),可以使有機(jī)材料均勻沉積,意味著大屏幕OLED電視具備了實(shí)施量產(chǎn)的條件。使玻璃底板上的有機(jī)材料形成均勻薄膜層的工藝,是生產(chǎn)OLED電視的關(guān)鍵要素。目前,真空熱蒸鍍(VTE)是應(yīng)用最為廣泛的一種技術(shù)。采用該技術(shù)的工藝流程必須在真空室中進(jìn)行,要求緊鄰玻璃底板放置一塊遮光板,用以確定底板上沉積材料的圖樣。然而,真空熱蒸鍍技術(shù)在生產(chǎn)大屏幕OLED電視方面存在幾大缺陷。比如,遮光板極易受工藝流程中的高溫環(huán)境影響而發(fā)生偏移,導(dǎo)致很難在大尺寸底板上保持均勻的沉積率。噴墨印刷技術(shù)可以通過液態(tài)有機(jī)材料的均勻沉積形成薄膜層,因此,這種技術(shù)在理論上能夠更好地解決大顯示屏的尺寸問題。愛普生采用了與噴墨打印機(jī)相同的按需噴墨工藝,可以精確地按所需量將有機(jī)材料沉積在適當(dāng)位置。由于噴墨系統(tǒng)對材料的利用率非常高,因此,制造商可以降低生產(chǎn)成本。此外,當(dāng)應(yīng)用于OLED電視生產(chǎn)流程時(shí),由于無需使用遮光板,其工藝步驟將少于真空熱蒸鍍技術(shù),因此,噴墨技術(shù)將有望大幅提高產(chǎn)量。

[⑤] 目前,噴墨打印技術(shù)是制備OLED面板的主流技術(shù)。噴墨打印技術(shù)能有效解決大尺寸OLED面板制造中的有機(jī)材料均勻度問題。

[⑥] FASwitch(flexible array switch)是一種用于置換液晶面板等的開關(guān)器件里使用的薄膜晶體管TFT的器件。與現(xiàn)有TFT相比,F(xiàn)ASwitch可以實(shí)現(xiàn)低成本大批量生產(chǎn),如它不需要昂貴的真空制膜設(shè)備,而且超凈室的清潔度要求也比生產(chǎn)TFT工廠低2-3個(gè)數(shù)量級,因此,有望大幅度削減早期的設(shè)備投資。與現(xiàn)行TFT是電子開關(guān)不同,F(xiàn)ASwitch是機(jī)械開關(guān),它是利用靜電作用使背面的薄膜基板產(chǎn)生機(jī)械運(yùn)動的原理:當(dāng)帶有電極的前面基板和背面的薄膜之間是相互分離時(shí),開關(guān)處于斷開狀態(tài);當(dāng)背面薄膜基板受靜電作用發(fā)生凹陷并與前面基板相接觸時(shí),則開關(guān)處于接通狀態(tài)。在顯示器里,正是利用這樣的機(jī)械開關(guān)實(shí)現(xiàn)并控制各像素的接通或關(guān)斷。Rolltronics公司是位于美國硅谷的一家高科技公司。

[⑦] 德國愛思強(qiáng)股份有限公司(Aixtron AG)是全球半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)先的沉積設(shè)備供應(yīng)商,也是世界上最大的MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)設(shè)備生產(chǎn)商。2011年,愛思強(qiáng)公司營業(yè)收入高達(dá)8.62億美元。愛思強(qiáng)公司主要產(chǎn)品包括MOCVD設(shè)備,原子層沉積(ALD)設(shè)備,原子層氣相沉積(AVD)設(shè)備,化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備,有機(jī)氣相沉積(OVPD)設(shè)備,碳納米管和納米光纖生產(chǎn)設(shè)備,半導(dǎo)體納米導(dǎo)線設(shè)備等。其中,MOCVD設(shè)備是半導(dǎo)體照明(LED)產(chǎn)業(yè)外延芯片制造的關(guān)鍵核心設(shè)備,這一設(shè)備長期以來被德國愛思強(qiáng)Aixtron和美國VEECO所壟斷。MOCVD設(shè)備是中國LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸。目前,中國大陸有近20家企業(yè)在研發(fā)MOCVD設(shè)備,并且部分企業(yè)已經(jīng)有了一定進(jìn)展。如青島杰生電氣有限公司、江西南昌黃綠照明公司均已研制成功GaN(氮化鎵)基MOCVD設(shè)備。目前,國產(chǎn)MOCVD設(shè)備面臨的最大問題是設(shè)備的推廣使用:首先,市場環(huán)境差,國產(chǎn)MOCVD設(shè)備生不逢時(shí),前兩年LED產(chǎn)業(yè)投資過熱,企業(yè)進(jìn)行大規(guī)模投資,目前包括三安、德豪潤達(dá)等在內(nèi)的大企業(yè),其設(shè)備開工利用率不足30%,消化目前的產(chǎn)能需要2-3年的時(shí)間,因此,未來幾年,國產(chǎn)MOCVD設(shè)備推廣前景并不樂觀。其次,設(shè)備關(guān)鍵零配件采購成本高。由于我國基礎(chǔ)工業(yè)落后,部分關(guān)鍵零配件需要進(jìn)口,大大增加了國產(chǎn)設(shè)備的擁有成本。最后,國內(nèi)廠商的自輕心理,不相信國產(chǎn)設(shè)備的品質(zhì),也阻礙了國產(chǎn)設(shè)備的推廣。

[⑧] 荷蘭OTBv公司全稱為“OLED Technologies B.V.”(簡稱OTBv),是OTB集團(tuán)的子公司。OTBv公司所生產(chǎn)的內(nèi)嵌式生產(chǎn)設(shè)備淘汰了絕對無塵室,實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)單件OLED產(chǎn)品時(shí),在較短時(shí)間內(nèi)以最低操作要求取得高產(chǎn)量的目標(biāo),從而大大降低了生產(chǎn)成本和前期投入。

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