圖文解說:芯片IC的封裝/測試流程 |
流程
IC Package (IC的封裝形式)指芯片(Die)和不同類型的框架(L/F)和塑封料(EMC)形成的不同外形的封裝體。
IC Package種類很多,可以按以下標(biāo)準(zhǔn)分類:
按封裝材料劃分為: 金屬封裝、陶瓷封裝、塑料封裝
金屬封裝主要用于軍工或航天技術(shù),無商業(yè)化產(chǎn)品;
陶瓷封裝優(yōu)于金屬封裝,也用于軍事產(chǎn)品,占少量商業(yè)化市場;
塑料封裝用于消費(fèi)電子,因?yàn)槠涑杀镜?,工藝簡單,可靠性高而占有絕大部分的市場份額;
按照和PCB板連接方式分為:
PTH封裝和SMT封裝
PTH-Pin Through Hole, 通孔式; SMT-Surface Mount Technology,表面貼裝式。 目前市面上大部分IC均采為SMT式的
按照封裝外型可分為:
SOT、SOIC、TSSOP、QFN、QFP、BGA、CSP等;
決定封裝形式的兩個(gè)關(guān)鍵因素:
封裝效率。芯片面積/封裝面積,盡量接近1:1;
引腳數(shù)。引腳數(shù)越多,越高級(jí),但是工藝難度也相應(yīng)增加;
其中,CSP由于采用了Flip Chip技術(shù)和裸片封裝,達(dá)到了 芯片面積/封裝面積=1:1,為目前最高級(jí)的技術(shù);
Raw Material in Assembly(封裝原材料)【W(wǎng)afer】晶圓
【Lead Frame】引線框架 提供電路連接和Die的固定作用; 主要材料為銅,會(huì)在上面進(jìn)行鍍銀、 NiPdAu等材料; L/F的制程有Etch和Stamp兩種; 易氧化,存放于氮?dú)夤裰?,濕度?于40%RH; 除了BGA和CSP外,其他Package都會(huì)采用Lead Frame, BGA采用的是Substrate;
【Gold Wire】焊接金線
實(shí)現(xiàn)芯片和外部引線框架的電性和物 理連接;
金線采用的是99.99%的高純度金;
同時(shí),出于成本考慮,目前有采用銅 線和鋁線工藝的。優(yōu)點(diǎn)是成本降低, 同時(shí)工藝難度加大,良率降低;
線徑?jīng)Q定可傳導(dǎo)的電流;0.8mil, 1.0mil,1.3mils,1.5mils和2.0mils;
Mold Compound塑封料/環(huán)氧樹脂主要成分為:環(huán)氧樹脂及各種添加劑(固化劑,改性劑,脫 模劑,染色劑,阻燃劑等);
主要功能為:在熔融狀態(tài)下將Die和Lead Frame包裹起來, 提供物理和電氣保護(hù),防止外界干擾;
存放條件:零下5°保存,常溫下需回溫24小時(shí);
【Epoxy】銀漿
成分為環(huán)氧樹脂填充金屬粉末(Ag);有三個(gè)作用:將Die固定在Die Pad上; 散熱作用,導(dǎo)電作用;
-50°以下存放,使用之前回溫24小時(shí);
FOL– Front of Line前段工藝
FOL– Back Grinding背面減薄
將從晶圓廠出來的Wafer進(jìn)行背面研磨,來減薄晶圓達(dá)到 封裝需要的厚度(8mils~10mils);
磨片時(shí),需要在正面(Active Area)貼膠帶保護(hù)電路區(qū)域 同時(shí)研磨背面。研磨之后,去除膠帶,測量厚度;
FOL– Wafer Saw晶圓切割
將晶圓粘貼在藍(lán)膜(Mylar)上,使得即使被切割開后,不會(huì)散落;
通過Saw Blade將整片Wafer切割成一個(gè)個(gè)獨(dú)立的Dice,方便后面的 Die Attach等工序; Wafer Wash主要清洗Saw時(shí)候產(chǎn)生的各種粉塵,清潔Wafer;
FOL– 2nd Optical Inspection二光檢查
主要是針對(duì)Wafer Saw之后在顯微鏡下進(jìn)行Wafer的外觀檢查,是否有出現(xiàn)廢品。
FOL– Die Attach 芯片粘接
芯片拾取過程: 1、Ejector Pin從wafer下方的Mylar頂起芯片,使之便于 脫離藍(lán)膜; 2、Collect/Pick up head從上方吸起芯片,完成從Wafer 到L/F的運(yùn)輸過程; 3、Collect以一定的力將芯片Bond在點(diǎn)有銀漿的L/F 的Pad上,具體位置可控; 4、Bond Head Resolution:X-0.2um;Y-0.5um;Z-1.25um; 5、Bond Head Speed:1.3m/s;
FOL– Epoxy Cure 銀漿固化
銀漿固化:
175°C,1個(gè)小時(shí); N2環(huán)境,防止氧化:
Die Attach質(zhì)量檢查: Die Shear(芯片剪切力)
FOL– Wire Bonding 引線焊接
利用高純度的金線(Au) 、銅線(Cu)或鋁線(Al)把 Pad 和 Lead通過焊接的方法連接起來。Pad是芯片上電路的外接 點(diǎn),Lead是 Lead Frame上的 連接點(diǎn)。
W/B是封裝工藝中最為關(guān)鍵的一部工藝。
FOL– 3rd Optical Inspection三光檢查
EOL– End of Line后段工藝
EOL– Molding(注塑)
EOL– Laser Mark(激光打字)
在產(chǎn)品(Package)的正面或者背面激光刻字。內(nèi)容有:產(chǎn)品名稱,生產(chǎn)日期,生產(chǎn)批次等;
EOL– Post Mold Cure(模后固化)
用于Molding后塑封料的固化,保護(hù)IC內(nèi)部結(jié)構(gòu),消除內(nèi)部應(yīng)力。Cure Temp:175+/-5°C;Cure Time:8Hrs
EOL– De-flash(去溢料)
目的:De-flash的目的在于去除Molding后在管體周圍Lead之間 多余的溢料; 方法:弱酸浸泡,高壓水沖洗;
EOL– Plating(電鍍)
利用金屬和化學(xué)的方法,在Leadframe的表面 鍍上一層鍍層,以防止外界環(huán)境的影響(潮濕 和熱)。并且使元器件在PCB板上容易焊接及 提高導(dǎo)電性。
電鍍一般有兩種類型:
Pb-Free:無鉛電鍍,采用的是>99.95%的高純 度的錫(Tin),為目前普遍采用的技術(shù),符合 Rohs的要求;
Tin-Lead:鉛錫合金。Tin占85%,Lead占 15%,由于不符合Rohs,目前基本被淘汰;
EOL– Post Annealing Bake(電鍍退火)
目的:讓無鉛電鍍后的產(chǎn)品在高溫下烘烤一段時(shí)間,目的在于 消除電鍍層潛在的晶須生長(Whisker Growth)的問題; 條件:150+/-5C; 2Hrs;
EOL– Trim&Form(切筋成型)
Trim:將一條片的Lead Frame切割成單獨(dú)的Unit(IC)的過程; Form:對(duì)Trim后的IC產(chǎn)品進(jìn)行引腳成型,達(dá)到工藝需要求的形狀, 并放置進(jìn)Tube或者Tray盤中;
EOL– Final Visual Inspection(第四道光檢)
在低倍放大鏡下,對(duì)產(chǎn)品外觀進(jìn)行檢查。主要針對(duì)EOL工藝可能產(chǎn)生的廢品:例如Molding缺陷,電鍍?nèi)毕莺蚑rim/Form缺陷等;
文章轉(zhuǎn)自:電子工程專輯 |