劉尚合、武占成編著
1、緒論
1.1 歷史的回顧與靜電學的新生
1.2 靜電防護與電磁兼容性
2、靜電學基礎理論
2.1 電荷與庫侖定律
2.1.1 電荷和電量
2.1.2 電荷守恒定律與物體的帶電
2.1.3 電荷的量子性
2.1.4 庫侖定律
2.2 電場與高斯定理
2.2.1 電場
2.2.2 電場強路
2.2.3 場強疊加原理
2.2.4 高斯定理
2.2.5 靜電場的散度
2.3 靜電場的環(huán)流定理
2.3.1 靜電場的環(huán)流定理
2.3.2 靜電場的旋度
2.3.3 電場力的功
2.3.4 電壓
2.3.5 電位
2.3.6 電位分部計算
2.3.7 電場強度與電位的關系
2.4 靜電場中的導體
2.4.1 導體的靜電平衡
2.4.2 靜電感應
2.4.3 靜電屏蔽
2.4.4 在靜電領域材料的分類
2.5 靜電場中的電介質
2.5.1 電介質的極化
2.5.2 電極化強度
2.5.3 束縛電荷
2.5.4 電位移矢量
2.5.5 靜電場的邊界條件
2.6 電容和部分電容
2.6.1 電容和電容器
2.6.2 部分電容
2.7 靜電場的能量
2.7.1 點電荷系統(tǒng)的靜電場能量
2.7.2 電荷連續(xù)分布時的靜電場的能量
2.7.3 n個導體組成的帶電系統(tǒng)的靜電場能量
2.7.4 電容器的儲能
2.7.5 靜電場能量的場量表示
3、靜電起電與消散
3.1 靜電起電原理
3.1.1 金屬間的接觸起電理論
3.1.2 金屬與絕緣材料的接觸起電
3.1.3 絕緣材料之間的接觸起電
3.1.4 分離過程
3.1.5 摩擦在接觸起電過程中的作用
3.2 固體起電
3.2.1 剝離起電
3.2.2 破裂起電
3.2.3 電解起電
3.2.4 壓力起電
3.2.5 熱電起電
3.2.6 感應起電
3.2.7 吸附起電
3.2.8 噴電起電
3.2.9 影響固體靜電起電的因素
3.3 粉體的靜電起電
3.3.1 粉體特性及其起電機理
3.3.2 粉體氣力輸送過程靜電起電的主要影響因素
3.4 液體起電
3.4.1 液體靜電起電機理
3.4.2 液體的沖流起電
3.4.3 液體中微粒的沉降起電
3.4.4 液體噴射起電
3.4.5 液體的沖擊起電
3.4.6 液體濺潑起電
3.4.7 氣體-液體起電
3.5 氣體的靜電起電
3.6 人體的靜電起電
3.6.1 人體靜電起電的方式
3.6.2 人體靜電的定義
3.6.3 影響人體靜電積累的因素
3.6.4 人體靜電電位的極端值
3.6.5 人體存儲的靜電能量
3.7 靜電的消散
3.7.1 物質對靜電的泄漏性能
3.7.2 介質內部電荷的衰減規(guī)律
3.7.3 絕緣導體上電荷的消散
4、靜電放電與靜電危害分析
4.1 靜電放電的特點及類型
4.1.1 靜電放電的特點
4.1.2 靜電放電的類型
4.2 靜電效應及其作用規(guī)律
4.2.1 靜電力學效應
4.2.2 靜電放電的熱效應
4.2.3 靜電的強電場效應
4.2.4 靜電放電的電磁脈沖效應
4.2.5 靜電放電對人體的電擊效應
4.3 工業(yè)生場中的靜電靜電障害
4.4 靜電燃爆危害
4.4.1 靜電危害實例
4.4.2 靜電安全界限
4.4.3 爆炸極限
4.4.4 最小點火能
4.4.5 靜電感度
4.5 電子行業(yè)的靜電危害
4.5.1 靜電危害造成的損失
4.5.2 電子產品靜電危害的特點
4.5.3 電子器件靜電損傷的失效類型
4.5.4 造成器件靜電危害的基本ESD事件
4.5.5電子器件靜電放電損傷失效機理
4.6 靜電電擊危害
4.6.1 靜電放電對人體電擊的感知閾值
4.6.2 靜電放電對人體電擊的疼痛閾值
4.6.3 帶電人體對接地導體放電時的生理反映〕
4.6.4 帶電體是絕緣體時人體的電擊界限
4.6.5 靜電放電電擊造成的恐慌
4.7 靜電危害的預測和事故分析
4.7.1 構成靜電危害的基本條件
4.7.2 靜電危害的預測依據(jù)和方法
4.7.3 靜電危害的事故分析
5、靜電危害防護
5.1 防靜電危害的一般原則和對策
5.1.1 確立靜電安全防護原則的依據(jù)
5.1.2 靜電安全防護原則
5.2 靜電接地
5.2.1 靜電接地的定義
5.2.1 靜電接地電阻與靜電泄漏電阻
5.2.2 靜電接地系統(tǒng)有關電阻的取值范圍
5.2.3 靜電接地的設施和實施方法
5.2.4 人體靜電接地方法
5.2.5 典型設備的靜電接地舉例
5.3 空氣加濕
5.3.1 電性能的影響
5.3.2 加濕方法與裝置
5.4 材料的抗靜電改性
5.4.1 抗靜電改性劑
5.4.2 材料的導電性填充
5.4.3 射束輻照抗靜電改性
5.4.4 層壓復合防靜電阻隔材料
5.5 靜電消除器
5.5.1 無源自感應式消電器
5.5.2 一般高壓電源式消電器
5.5.3 離子風高壓電源式消電器
5.5.4 防爆型高壓電源式消電器
5.5.5 放射源式消電器
5.5.6 消電器的選擇與安裝
5.5.7 消電器的殘壓
5.6 人體靜電的防護
5.6.1 防靜電鞋和導電鞋
5.6.2 防靜電(或導電)地面
5.6.3 防靜電腕帶
5.6.4 防靜電工作服
5.6.5 防靜電工作帽、手套
5.6.6 防靜電椅
5.6.7 防靜電地墊
6、靜電放電建模與模擬
6.1 靜電放電模型
6.1.1 人體模型
6.1.2 機器模型
6.1.3 帶電器件模型
6.1.4 傳輸線脈沖模型
6.1.5 場感應模型
6.1.6 人體金屬模型
6.1.7 ESD家具模型
6.1.8 其他模型
6.1.9 ESD模型比較與總結
6.2 靜電放電模擬器
6.2.1 ESD模擬器的放電方式
6.2.2 典型ESD模擬器的主要參數(shù)及其放電電流波形
6.2.3 常用ESD模擬器介紹
6.3 靜電放電輻射場的理論建模
6.3.1 長導體模型
6.3.2 球型電極模型
6.3.3 偶極子模型
6.3.4 三種模型的比較分析
6.3.5 改進的偶極子模型
6.3.6 靜電放電電磁場的實驗模擬
7、微電子器件靜電防護和失效分析
7.1 防護策略和基本步驟
7.1.1 防護策略
7.1.2 靜電放電控制方案的基本步驟
7.2 微電子器件、設備ESD敏感度測試
7.2.1 測試部位的選擇
7.2.2 放電方式的選擇
7.2.3 靜電放電敏感度分類
7.2.4 敏感元器件的靜電放電敏感度試驗
7.2.5 設備的靜電放電抗繞度試驗
7.2.6 組件的靜電放電抗繞度試驗
7.3 微電子器件靜電放電失效分析方法
7.3.1 失效分析內容和失效分析方法
7.3.2 失效分析技術
7.4 潛在性失效
7.4.1 時間累計效應和事件累計效應
7.4.2 潛在性失效機理
7.4.3 潛在性失效的檢測方法〕
7.4.4 器件潛在性失效實驗分析
7.4.5 結論與措施
7.5 微電子器件靜電防護設計方法
7.5.1 概述
7.5.2 靜電放電防護器件
7.5.3 ESD防護網絡設計時需考慮的問題
7.5.4 組件設計時需考慮的問題
7.5.5 電子產品的ESD加固設計
7.5.6 ESDS器件防護網絡
7.5.7 瞬間抑制器
7.6 防靜電工作區(qū)設計
7.6.1 概述
7.6.2 放靜電工作區(qū)內的接地方法
7.6.3 防靜電工作區(qū)內人員和移動目標的靜電控制
7.6.4 防靜電工作區(qū)內物品防靜電性能指標要求
7.7 制造集成電路凈化間的靜電防護
7.7.1 制造過程的靜電防護
7.7.2 晶片的ESD及其防護
7.7.3 靜電帶電塵埃的影響
7.7.4 受靜電荷影響的制造工序
7.8 防靜電包裝
7.8.1 防護包裝材料的靜電性能要求
7.8.2 靜電包裝材料分類
7.8.3 防靜電包裝級別
7.8.4 包裝防護操作的一般準則
7.8.5 防靜電包裝件運輸、存儲時應注意的問題
8、靜電測試技術
8.1 概述
8.1.1 靜電測試的目的
8.1.2 靜電測試的特點
8.1.3 靜電測試的主要內容
8.2 靜電基本參量測試
8.2.1 靜電電位(電壓)測試
8.2.2 靜電電量測試
8.2.3 靜電電容的測試
8.2.4 電阻與電阻率的測試
8.3 防靜電設施及器具靜電性能測試
8.3.1 ESD防護腕帶、鞋束(足跟帶)靜電性能測試
8.3.2 ESD防護工作服靜電性能測試
8.3.3 防靜電鞋電阻測試
8.3.4 靜電消除器消除靜電能力測試
8.3.5 工作椅、存放架、運輸小車對地電阻和表面電阻的測試
8.3.6 手套、指套對地電阻的測試
8.3.7 防靜電工作臺面靜電性能測試
8.3.8 防靜電地面對地電阻和表面電阻的測試
8.4 防靜電包裝材料靜電性能測試
8.4.1 概述
8.4.2 摩擦起電性能的測試
8.4.3 包裝材料靜電泄漏(衰減)性能的測試
8.4.4 包裝材料靜電屏蔽性能的測試
8.5 人體靜電參數(shù)測試
8.5.1 人體靜電動態(tài)電位測試
8.5.2 人體對地靜電電容的測試
8.5.3 人體綜合電阻測試
8.6 防靜電織物靜電性能測試
8.6.1 概述
8.6.2 測試樣品與要求
8.6.3 半衰期測試方法
8.6.4 織物摩擦帶電電位測試方法
8.6.5 摩擦電位衰減測試方法
8.6.6 電荷面密度測試方法
8.6.7 極間等效電阻法
8.7 靜電感度測試與數(shù)據(jù)處理方法〕
8.7.1 靜電感度測試
8.7.2 靜電感度試驗數(shù)據(jù)處理方法
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